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王敏锐 | 研究员

先进传感器研究所 2014-11-14 15:14 已被浏览 3984

 

王敏锐,研究员

2016聘为我院教授


2006年大连理工大学博士毕业。2013年,评聘为中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所研究员、入选中国科学院“现有关键技术人才”。现为江苏省微纳制造创新中心(培育)主任、西安交通大学兼职教授、中国微米纳米技术学会理事、中国机械工程学会微纳制造分会常务委员、智能传感器创新联盟副理事长、中国半导体协会MEMS分会副秘书长。

研究方向:

主要从事MEMSIII-V族半导体器件集成技术、微纳光学、MEMS压力芯片及器件、压电声学及特种功能材料制备等的研究。作为项目负责人,主持国家重大科学仪器设备开发专项、国家自然科学基金江苏省重大成果转化项目、江苏省工业支撑重点计划项目等10多项。

研究成果:

    在微米纳米结构蓝宝石图形化衬底的低成本、大面积可控制造及其评价、大功率散热技术、热电堆芯片、MEMS压力芯片、MEMS压电器件及功能薄膜材料制备等方面取得了多项创新性的研究成果。先后指导研究生17人。申请国家发明专利16项。发表学术论文20余篇,单篇最高他引100多次。

先后成功建设完成了填补国内空白的大型微纳制造开放式共享研发平台和6英寸自动化MEMS中试平台。

主要论文:

[1] 桑伟华,王敏锐*,GaN-based light emitting diodes with nano-hole patterned sapphire substrate ,OPTO. LET,2016;

[2]王敏锐*, 压电驱动MEMS光学扫描镜的研制,纳米技术与精密工程,2012;

[3] Minrui WANG* et, Effect of preheating and annealing temperatures on quality characteristics of ZnO thin film prepared by sol–gel method, Mater.Chem.Phys.2006(他引100多次)

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